AMCs
Classificação de AMCs pela International Semiconductor Industry Association (SEMI)
SEMI F21-1016 Classificação dos níveis de poluentes moleculares transportados pelo ar em ambientes limpos
Os perigos dos AMCs
- Formação de uma película de gás químico na superfície Limpeza da superfície do silicone Limpeza do substrato de vidro Superfície da lente óptica Superfície do metal Superfície do plástico
- Propriedades químicas (por exemplo, corrosão de metais) Propriedades elétricas (por exemplo, implantação de íons) Propriedades físicas (por exemplo, modificação de superfície, geração de carga estática) Propriedades ópticas (por exemplo, mudanças de fotorresistência, rendimento de fotolitografia)
- Formando material particulado "névoa" NH3 + SO2 → Sal Gás alcalino + gás ácido → sal
- Requisitos de EHS para ambiente de sala limpa (VOCs, gases ácidos) Prejudicando a saúde e o bem-estar dos funcionários Aplicações de segurança química e requisitos de risco de sala limpa, como UL e FM...